更新時間：2026-02-09
| 產地 | 進口 | 加工定制 | 是 |
|---|---|---|---|
| 質保 | 1年 |
日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
日本KOFLOC5100系列質量流量控制器-內拋光
金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
內部拋光Ra≤0.1，杜絕二次污染介質
±15VDC供電性能穩定，0-5V模擬信號更加通用
適用于高真空、半導體以及對管路潔凈度高要求場合
日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
性能參數：
| 量程(N2) | 1SCCM-20SLPM |
| 精度 | ±1.0%FS |
| 重復性 | ±0.2%FS |
| 響應時間 | 1秒以內 |
| 耐壓 | 1.0Mpa |
| 進口大壓力 | O.3Mpa |
| 動作壓差 | 0.05-0.3Mpa |
| 泄漏率 | 1*10-11pa·m³/s以下 |
| 內拋光 | Ra≤0.1 |
| 溫度范圍 | 5-45℃ |
| 濕度范圍 | 10-90%RH(不能結露) |
| 材質 | 本體SUS316L |
| 密封圈SUS316L、PTFE | |
| 電氣接口 | DB9 |
| 模擬信號 | 0-5V輸入/輸出 |
| 供電 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
| 管路連接 | 標配1/4UJR |
| 選配1/8UJR | |
| 重量 | 約1000g |
★使用注意
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
四：耐壓1.0Mpa，進口大壓力5公斤。
五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。
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陳工