數字式質量流量控制器是一種精確控制和測量氣體流量的儀器。廣泛應用于半導體制造、化工生產、生物科技、材料研究以及食品加工等領域，其中對氣體流量的精確控制至關重要。基于熱傳導或差壓原理來測量氣體的質量流量。在熱傳導型dmfc中，傳感器通過兩個溫度傳感器之間的熱量轉移來測量流量。其中一個傳感器被加熱，而另一個則保持在環境溫度。當氣體流動時，熱量從加熱的傳感器轉移到未加熱的傳感器，轉移的量與質量流量成正比。控制器根據這種熱量轉移來調整閥門的開度，從而控制流量。
在差壓型dmfc中，利用氣體通過一定形狀的通道時產生的壓力變化來測量流量。該壓力差與流過控制器的氣體質量流量直接相關。通過測量壓力差并使用相應的算法，控制器可以計算出準確的質量流量，并根據需要調節閥門。
1.流量傳感器：用于檢測流經控制器的氣體流量。
2.控制閥：通常是一個電子驅動的比例閥，用于調節流量。
3.微處理器：接收來自流量傳感器的信號，并計算所需的閥門位置以維持設定的流量。
4.顯示界面：提供用戶交互接口，可以是數字顯示屏或者集成到更大的控制系統中。
5.通訊接口：如rs-232、rs-485、以太網或者無線模塊等，用于將dmfc集成到自動化系統中。
特點：
1.高精度和重復性：dmfc能夠提供非常精確和可重復的流量控制，誤差通常小于1%。
2.快速響應時間：能夠迅速適應流量設定的變化，對于動態過程控制尤為重要。
3.寬流量范圍：通過不同的量程選擇，dmfc可以覆蓋從幾毫升每分鐘到數千升每分鐘的流量范圍。
4.多氣體兼容性：可以校準以適應多種不同的氣體，包括腐蝕性或危險性氣體。
5.易于集成：數字接口使得dmfc可以輕松集成到復雜的控制系統和自動化過程中。
6.自我診斷功能：現代dmfc具備自我診斷和報警功能，有助于預防性維護和故障排除。
數字式質量流量控制器的應用領域：
1.半導體制造：在蝕刻、沉積和摻雜過程中，精確控制工藝氣體的流量。
2.化學氣相沉積（cvd）：用于制造光纖、太陽能電池和其他高科技產品。
3.食品加工：控制食品包裝中的氣體混合比例，例如調節大氣保鮮包裝中的氣體成分。
4.生物反應器：精確控制輸入到生物反應器中的氧氣和營養氣體的流量。
5.環境監測：在空氣質量監測和排放控制中使用dmfc來確保準確測量。
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陳工